ディスプレイ材料 LCD用カラーフィルター向け アルカリ現像型ブラックマトリクス用フォトレジスト

特色
ブラックマトリクスは、カラーフィルターの不必要な光を遮光し、コントラストや開口率を上げる重要な役目を果たしています。新日鉄住金化学の提案するブラックマトリクス用レジスト材料は、お客様の多様なニーズに応える様々な性能を持ち、各プロセスに適合するカスタマイズ性の優れた製品です。
■ 高遮光率 High OD value (3.0~4.5/1μm)
■ 電気抵抗 High resistance (1E+14 Ω・cm)
■ 高感度 High sensitivity (30~100mJ/cm2:i-line)
■ 高解像度  High resolution (4~20μm)
■ 良好なパターン形状 Fine pattern form
■ 高密着性 High adhesion (Before PCT:50kgf/cm2,After PCT:30kgf/cm2)

品種別特性


Grade Normal OD High OD Ultra
High OD
High
Ultra
resistivity
High OD
High
resistivity
OD / μm 3.5 4.0 4.5 3.5 4.0
Volume Resistivity(Ω・cm) 1E+07 1E+07 1E+07 1E+14 1E+13
Roughness(A) 50 50 60 30 30
Taper angle (°) 30~90 60~90 30~60 60~90
"Exposure Energy (mJ) (I Line)" 30~100
Developing Time (sec) 40~90
Resolution (μm) 4~20
PCT test 100/100 100/100 100/100 100/100 100/100
Residue free

パターン形状


■High OD ■High Resistivity
High OD High Resistivity



新日鉄住金化学株式会社 機能材料事業部 ディスプレイ材料部
〒101-0021 東京都千代田区外神田4-14-1 秋葉原UDX 13F TEL 03-5207-7616  FAX 03-5207-7653

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